CVD，MOCVD專用氫氣發生器操作步驟
CVD，MOCVD專用氫氣發生器的操作步驟需要遵循一定的流程，以確保設備的安全運行和氫氣的穩定輸出。
以下是CVD，MOCVD專用氫氣發生器具體的操作步驟：
一、設備檢查與準備
1.檢查設備：在操作前，首先要檢查氫氣發生器的外觀是否完好，確保所有部件沒有損壞或泄漏的跡象。同時，核對裝箱單上的品名數量是否齊全，并檢查電源連接是否正常。
2.環境準備：選擇一個具有良好通風性、遠離熱源、無震動、陽光直射、粉塵和腐蝕性氣體的場所放置氫氣發生器。環境溫度應控制在0℃-40℃，環境相對濕度應不超過85%。
3.水箱準備：檢查水箱中的水位是否充足，如果水位不足，需要補充蒸餾水或純凈水至液位刻度。同時，確保儀器“O2”口暢通，并取下加液口的蓋子以便注液。
二、開機與自檢
1.連接電源：將儀器輸出密封帽旋緊，接通電源線，打開電源。
2.自檢：觀察儀器流量顯示，當顯示為300ml/min時，表示儀器正在自檢。如果顯示數字大于0，請用皂液檢查輸出口，看螺帽是否旋緊。
三、設置參數與啟動
1.設置參數：根據半導體制造的具體需求，設置氫氣的流量、壓力等參數。這通常需要在操作面板上進行調整，并參考制造商提供的操作手冊。
2.啟動發生器：按照制造商提供的操作手冊，執行正確的操作步驟啟動氫氣發生器。在啟動過程中，密切關注設備的運行狀態，并及時處理任何異常情況。
四、氫氣質量監測與調整
1.質量監測：使用適當的傳感器和儀器監測氫氣的純度和濕度，確保生成的氫氣符合所需的規格和標準。
2.調整參數：如果發現氫氣的純度或濕度不符合要求，及時調整設備的參數，如電解液濃度、電流等，以提高氫氣的質量。
五、關機與維護
1.正常關機：按照制造商提供的操作手冊，執行正確的關機步驟。先關閉氫氣輸出，再斷開電源。
2.維護保養：定期進行維護保養，包括清潔設備表面、更換電解液、檢查過濾器等。確保設備的正常運行和延長使用壽命。
